DUVレーザによる微細加工技術開発

抄録

近年、レーザ加工技術は産業用途に広く採用されている。穴あけなどの微細加工では、短パルスレーザを用いることで高品質な加工が可能であるが、微細度の向上が求められている。三菱重工工作機械(株)では、加工分解能の向上が期待できる深紫外レーザ光学系を開発し、微細レーザ加工機“ABLASER-DUV”に搭載した。穴あけ試験を実施した結果、穴直径最小10μm、アスペクト比最大10の超微細穴加工を実現した。