2018年度精密工学会春季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
コヒーレント回折顕微鏡のための高密度X線ミラー集光光学系の開発
p. 605-606
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 605-606
X線自由電子レーザー施設SACLAにおける高分解能コヒーレント回折顕微鏡のための試料照明用光学系として，4keV用多層膜ミラーによる超高密度集光ビームの実現を目指した．1nm(RMS)の再現性をもつ非接触プローブ走査型の形状計測装置を開発し，数値制御非球面加工装置を用いて本光学系の楕円筒面形状ミラー基板を作製した．SACLAで集光ビームを評価した結果，100nm集光サイズを実現した．
