精密工学会学術講演会講演論文集
2018年度精密工学会春季大会
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X線リング集光ミラーの作製と評価
*三村 秀和竹尾 陽子本山 央人仙波 泰徳岸本 輝大橋 治彦
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キーワード: X線集光, 軟X線
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p. 603-604

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抄録

近年の超精密加工技術の発達により、自由曲面形状をもつミラーを高精度に作製可能となった。本発表では、軟X線をリング状に集光可能なミラーの提案、作製、評価について報告する。シミュレーションにより予測された中心近傍に特異点を有するリング集光ミラーを作製し、SPring-8において評価を行った。その結果、計算どおりにリング状にX線が集光することが観測された。

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© 2018 公益社団法人 精密工学会
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