主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 603-604
近年の超精密加工技術の発達により、自由曲面形状をもつミラーを高精度に作製可能となった。本発表では、軟X線をリング状に集光可能なミラーの提案、作製、評価について報告する。シミュレーションにより予測された中心近傍に特異点を有するリング集光ミラーを作製し、SPring-8において評価を行った。その結果、計算どおりにリング状にX線が集光することが観測された。