大気圧プラズマによる材料加工の特性評価

抄録

大気圧プラズマは高エネルギーかつ高反応性を有するプラズマを大気圧下で生成するものである．真空環境を必要とせず，局所的に処理可能な汎用性を有しているが，処理時の材料への影響が未解明な部分が多い．本研究では大気圧プラズマを用いて様々な材料加工を行い，加工パラメータと加工結果との関係を解明することを目的とする．加工条件を実験的に検討することで加工特性を評価し，バリ取りなどへの適用について提案する．