リニアボールガイドを用いたナノメータ輪郭制御　第2報

抄録

リニアボールガイドとリニアモータからなる送り駆動系でのナノメータ輪郭制御では，運動中に発生した位置偏差を用いた繰返し制御による，象限突起等の位置偏差の補正（オフライン補正）が有効である．オフライン補正と外乱オブザーバでの補正（オンライン補正）との比較実験，オフライン補正の繰り返し回数を増やした場合，及びオフライン補正とオンライン補正を併用した場合の実験を行ったので，その結果について報告する．