小型圧電マニピュレータのセルフセンシングに関する基礎的検討

抄録

マニピュレータに様々なセンサを取り付けることは、デバイスの小型化を妨げる要因になる。そこで本研究では、変位拡大機構を用いた小型圧電マニピュレータにおいて、対象物接触時の機械的境界条件の変化を圧電体の電気的周波数特性の変化として検出することで、アクチュエータとしての圧電体を同時にセンサとしても利用するセルフセンシングシステムを提案し、柔軟対象物の接触時における計測を行った。