主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 883-884
我々は,タングステン微細電極の周囲を電解めっきにより亜鉛を被覆した「ピーリング工具」を提案している.ピーリング工具をそのまま加工に用いると,被覆部である亜鉛がタングステンより先に消耗することから,一度の加工で段付き穴をあけることができた.コア径10μmのピーリング工具を用い,高アスペクト比の微細穴加工を試みた結果を報告する.