精密工学会学術講演会講演論文集
2018年度精密工学会春季大会
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コア径10μmのピーリング工具を用いた高アスペクト比の穴加工
*髙松 美太郎田辺 里枝伊藤 義郎増沢 隆久
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p. 883-884

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抄録

我々は,タングステン微細電極の周囲を電解めっきにより亜鉛を被覆した「ピーリング工具」を提案している.ピーリング工具をそのまま加工に用いると,被覆部である亜鉛がタングステンより先に消耗することから,一度の加工で段付き穴をあけることができた.コア径10μmのピーリング工具を用い,高アスペクト比の微細穴加工を試みた結果を報告する.

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© 2018 公益社団法人 精密工学会
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