光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究（第1報）

ベッセルビームによる加工原理検証に向けた装置開発

抄録

微細デバイスや次世代機能部品製造のために3次元微細構造の加工技術が求められている。本研究では電場強度勾配による光放射ポテンシャルに着目し、回折限界の制限を受けずに微粒子を局所化・3次元集積することで寸法100 nm以下の3次元微細構造の加工を目指す。本報では一定距離において強度分布が変わらず、ビームが広がらずに伝搬するベッセルビームを用いて加工原理について基礎検討するための実験装置設計を行った。