Na2SO4電解酸化水を用いたコバール合金の表面粗化処理

佐藤 運海; 川久保 英樹

doi:10.11522/pscjspe.2018S.0_7

2018年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018S.0_7

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会春季大会

開催地: 中央大学

開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17

Na₂SO₄電解酸化水を用いたコバール合金の表面粗化処理

*佐藤運海, 川久保英樹

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キーワード: コバール合金, 電解酸化水, エッチング性能, 表面粗化処理, 超音波

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p. 7-8

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抄録

コバール合金は熱膨張率が低いため，硬質ガラスやセラミックパッケージの封着材料として多く使用されている．対象物との密着性を向上するために，コバール合金の表面を均一に粗化する必要がある．本研究において，H2SO4溶液と比較し，Na2SO4電解酸化水のコバール合金表面に対する粗化作用を解明した．すなわち，超音波を併用して浸漬処理を行う場合，コバール合金の表面を均一に粗化できる可能性が大きい．

責任著者(Corresponding author)

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