露光波長および露光量がネガ型厚膜フォトレジストの硬度に与える影響

抄録

先行研究では移動マスク露光と複数波長逐次露光の併用により作製したマイクロニードル(ＭＮ)の先端部が湾曲する現象が確認された。この現象の原因はレジストの強度不足であると推測される。本研究では露光波長と露光量を変更してレジストの露光を行い、各条件下での硬度をマイクロビッカース試験機で測定した。露光量、紫外線波長と硬度の関係を明らかにすることで、ＭＮが湾曲しにくい作製条件を検討した。