(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃積層圧電素子を用いた弾性フィン型超音波モータ

抄録

本研究では(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃[BNBT]積層圧電素子を用いた超音波モータの試作・評価を行った。BNBTはハイパワー特性に優れた非鉛圧電材料であるが、圧電定数が低いため、材料を積層化し、圧電変位を増加させると共に高電界駆動を行った。弾性フィンを用いて積層圧電素子の縦振動変位を回転モーメントに変換し、ロータを回転させた。試作したモータの予圧3N印加電圧58Vpp駆動時の無負荷回転速度は920 rpmとなった。