主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会秋季大会
開催地: 静岡大学
開催日: 2019/09/04 - 2019/09/06
p. 346-347
流体アクチュエータの制御を目的とした微粒子励振型制御弁の流量特性改善を行った.制御弁を駆動する振動子において効果的な振動モードを得られるように制御弁の構造を検討した.有限要素法を用いて振動解析を行った結果により製作した弁は,質量14.14 g,全長33.9 mmである.水を用いた評価実験の結果,供給圧力0.1 MPaから0.5 MPaの領域において連続的な流量制御が可能であった.