精密工学会学術講演会講演論文集
2019年度精密工学会秋季大会
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微粒子励振型制御弁の流量特性改善に関する研究
*高見 春人神田 岳文脇元 修一山本 陽光鈴森 康一難波江 裕之浮田 貴宏
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キーワード: 圧電振動子, 流量制御弁
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p. 346-347

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抄録

流体アクチュエータの制御を目的とした微粒子励振型制御弁の流量特性改善を行った.制御弁を駆動する振動子において効果的な振動モードを得られるように制御弁の構造を検討した.有限要素法を用いて振動解析を行った結果により製作した弁は,質量14.14 g,全長33.9 mmである.水を用いた評価実験の結果,供給圧力0.1 MPaから0.5 MPaの領域において連続的な流量制御が可能であった.

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© 2019 公益社団法人 精密工学会
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