収束電子線を用いた超解像イメージング

抄録

我々は、収束電子線を用いて、これまでの空間分解能を超えた顕微鏡の開発を行っている。極薄蛍光体薄膜に電子線を照射し生成したナノ光スポットを用いて、超解像光学顕微鏡ができることを示した。また、電界効果による電子線励起電流の変化からイオン濃度分布を可視化する高空間分解能な化学センサーを開発している。このように収束性の高い電子線を応用することでこれまでの限界を超えた顕微鏡を開発できる。