非接触三次元ナノ形状測定法の形状導出アルゴリズム

抄録

近年、形状自由度の高い光学素子が様々な分野で応用されており、光学素子を高精度に作製するためにナノ精度の三次元形状測定法が必要とされている。そこで、我々はレーザ光の直進性を利用した法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法の開発を行っている。本報では、非接触ナノ形状測定法に用いる形状導出アルゴリズムとR = 50 mm凹球面の測定結果への適用について報告する。