実験室規模の水の窓Ｘ線3D顕微鏡

抄録

色収差がないウォルターI 型鏡と小型で扱いが容易な電子衝撃型Ｘ線源を組み合わせた、実験室規模の水の窓Ｘ線３D 顕微鏡を開発している。結像性能向上のため、ウォルター鏡の設計を見直し、形状誤差による分解能への影響が小さくなるように作動距離を短くしたウォルター鏡を新たに製作した。その結果、二次元画像で 2.5 lp/μm の分解能を達成し、CT による再構成画像でサブμm の三次元構造が識別可能であることを確認した。