小スポット950keV線形加速型X線源の産業用非破壊検査への応用

抄録

電子線集束機構を内蔵し、半値全幅0.2mmの小スポットを実現する小型・軽量の950keV線形加速型X線源とそれを搭載したCTシステムを開発した。矩形溝サンプルの透過像により空間分解能の検証を行い、0.2mmの構造を解像可能であることを確認した。自動車のエンジンブロックのCT撮像を行った結果、2mm～3mm程度の構造が視認可能であり、開発したX線源が高い透過力を有していることを確認した。