電磁アクチュエータを用いた高速・高分解能インチワーム

駆動周波数の向上

抄録

本研究では電磁アクチュエータと2つの電磁クランプを用いたインチワーム機構を提案している．また縮小率が可変である変位縮小機構を用いることで，高分解能と高速度の両立を達成する．本報では，更なる高速度を目指し電磁アクチュエータの出力向上および可動部の軽量化を行なった．その結果，固有振動数が高まり駆動周波数が70Hzから110Hzへ増加した．性能評価では位置決め分解能50nmを維持しながら駆動速度が1.4倍である25mm/sを達成した．