電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置の力制御方法の提案と考察

抄録

本研究では，電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置において，バランスシリンダ内圧を制御することにより，鉛直方向の力を発生させることで，リニアモータの負荷を低減可能な制御方法を構築することを目的とした．実験の結果，外乱オブザーバにより発生力が推定できることと，モータ負荷の低減が可能であることを示した．