銅定盤を用いたダイヤモンドラップの砥粒挙動に関する研究

抄録

ダイヤモンドラップでは砥粒の保持性が高い銅などの定盤を用いることで定盤上に砥粒が埋り込み、鏡面になる加工が行われるといわれている。そこで、本研究では、装置上方からウェーハと定盤間の加工部における砥粒挙動を可視化した。また、加工後の定盤表面と工作物であるウェーハ表面を観察することで砥粒の作用や埋り込み、加工特性に与える影響などについて検討した結果を述べる。