走査型原子間力顕微鏡を用いた単粒子研磨加工実験と準連続体解析の比較

抄録

本研究では，走査型原子間力顕微鏡を用いて，ナノスケールでの単純押し込み実験と，単粒子による研磨加工の模擬実験を行った．また，準連続体解析と実験結果を比較することで，解析法の妥当性を検証した．その結果，単純押し込み実験においては，解析結果が実験結果と一致することがわかった．一方，単粒子研磨加工実験では，金属短針の摩耗という実験における問題点が明らかとなった．