適応制御を用いたサファイアウエハの高回転研磨

小野澤 哲郎; 吉冨 健一郎; 宇根 篤暢

doi:10.11522/pscjspe.2019S.0_115

2019年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019S.0_115

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

適応制御を用いたサファイアウエハの高回転研磨

*小野澤哲郎, 吉冨健一郎, 宇根篤暢

著者情報

キーワード: 化学機械研磨, 適応制御, 接触状態, 高回転研磨, 加工レート, サファイア

会議録・要旨集フリー

p. 115-116

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抄録

サファイアウエハは難削材料の1つであり，加工レート向上が強く求められている．本研究では，工具高回転時でもスラリ不足とならない加工システムを開発し，サファイアウエハの研磨特性の検証および加工レート向上を図る．本報では，負荷トルクをフィードバックし，工具とサファイアウエハ間の接触状態を一定に保つ制御を組み込んだ加工システムを開発し，従来法より工具回転数の大幅な向上を可能にした．

責任著者(Corresponding author)

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