パルス駆動静電フィルムモータにおける駆動電流からのスライダ位置推定手法の実験的検証

抄録

静電フィルムモータにおいて、駆動時の微小な電流からスライダの動作位置を推定する手法が提案されている。これまで、正弦波電圧で駆動される場合の検討が主に行われてきたが、より簡便な装置で駆動できるパルス電圧駆動時の検討は十分にはなされていない。本稿では、パルス電圧駆動時の位置推定に関して実験的な検証を行い、電流センサのオフセットの影響や、モータ脱調時の位置検出の可否などを調査する。