凸面ミラーの非接触三次元ナノ形状測定

抄録

近年、形状自由度の高い光学素子が様々な分野で応用されており、光学素子を高精度に作製するためにナノ精度の三次元形状測定法が必要とされている。そこで、我々はレーザーの直進性を利用した法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法の開発を行っている。本報では、非接触ナノ形状測定法を用いて凸形状の試料を測定し、その結果について報告する。