主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会春季大会
開催地: 東京電機大学
開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15
首都大東京 システムデザイン研究科 知能機械システム学域
エリオニクス
p. 824-825
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プローブ型表面力測定装置を用いて2表面間の表面力評価を試みている.本報告では同装置で表面自由エネルギの異なる2種類のプローブを用いた表面力評価手法を提案している.プローブ表面にSAMを修飾することで表面自由エネルギの異なる2種類のプローブを作製し,真空中で表面力を測定した.プローブの表面自由エネルギは63.7mJ/m2から24.6mJ/m2に変化し,同一試料に対する表面力は最大で57.5μN低下した.
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