正弦波位相変調変位測定干渉計における系統誤差抑制の試み

抄録

高分解能測長干渉計として正弦波位相変調法を適応した干渉計は有効である。高い分解能を達成するためには干渉信号から変位を検出する方法が重要である。零位法に基づき変位を検出する直接位相検出法は高い分解能を期待できるが、変調深さによっては1/4波長周期で系統誤差が発生する問題がある。本報では直接位相検出法を用いる場合に発生する系統誤差を抑制する方法について検討を行う。