主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2020年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2020/09/01 - 2020/09/07
日本工大 基幹工学部 機械工学科
日本工大 機械工学科 精密加工研究室 研究員
日本工大 大学院 工学研究科 機械システム工学専攻
p. 141-142
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研磨面の面内方向で研磨方向に直角方向に砥石を超音波振動させる超音波振動研磨法における研磨機構を調べた.実験においては，平やすり形で振動数20kHz,最大振幅15µmで超音波振動するダイヤモンド砥粒(#1,000)電着砥石を製作した．本報では，湿式研磨における研磨特性を調べた．その結果，乾式研磨に比べて，目詰まりが低減し，研磨面の表面粗さが向上することなどを明らかにした．
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