超音波振動研削によるガラス加工の特性改善（第六報）

超音波援用研削において砥粒径が加工特性に与える効果

抄録

超音波振動を援用した研削加工において工具の目づまりの抑制や研削抵抗の低減などの改善効果が知られている．しかしながら，硬脆材料に対する超音波援用した砥粒の加工現象やチッピング生成メカニズムは明らかになっていない．本報では砥粒径の異なる複数の砥石を用いて石英ガラスの超音波援用加工を行う．光弾性法を用いて被削材内部の加工応力を可視化し，超音波振動が石英ガラスの研削加工に与える効果を明らかにする．