静電気力と超音波振動を用いたナノブラスト研磨用砥粒粒径均一化に関する研究

抄録

ナノ粒子を用いた超微細ブラストの研究を行っている．自然状態ではナノ粒子は凝集粒子を形成し，その粒径のばらつきは精密仕上げに要求される砥粒の粒径分布より大きい．本研究では，粒子間の付着力を上回る外力を加えることで凝集粒子の平均径と分布幅を小さくする方法を提案する．有限要素解析と実験により，超音波振動と静電力を同時に印加すると粒径分布が改善するとわかったが，凝集粒子は完全には分離しなかった．