ガラスのフェムト秒レーザ加工時の超高速応力分布計測

抄録

ガラスへ微細加工を施す手法としてフェムト秒レーザが注目されているが，加工領域周辺にクラックが発生するという課題がある．クラックの発生原因は材料除去時に伝搬する応力波であると推測されているものの，応力波伝搬時の応力分布計測は実現していない．本研究ではポンプ・プローブ法と干渉計測によって超高速で変化する密度分布を計測し，数値的に解析することで，応力分布の定量計測を実現し，破壊メカニズムを明らかにした．