局所的電子励起領域へのレーザ光吸収によるガラスの超高速微細接合

吉武 俊哉; 伊藤 佑介; 宮本 直之; 柴田 章広; 長澤 郁夫; 長藤 圭介; 杉田 直彦

doi:10.11522/pscjspe.2020A.0_219

2020年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020A.0_219

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2020年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/01 - 2020/09/07

局所的電子励起領域へのレーザ光吸収によるガラスの超高速微細接合

*吉武俊哉, 伊藤佑介, 宮本直之, 柴田章広, 長澤郁夫, 長藤圭介, 杉田直彦

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キーワード: レーザ, 接合, ガラス

会議録・要旨集フリー

p. 219

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抄録

ガラスに対する微細接合手段として超短パルスレーザが注目を集めている．その際，加工能率が著しく低いという課題と，ガラス基板の間隔を1 μm程度の微小量に抑制する必要があるという課題が存在している．本研究では，超短パルスレーザ照射により形成した局所的な電子励起領域に連続波レーザを選択的に吸収させた．これにより従来の20倍の加工能率で4倍の基板間隔を許容した超高速微細接合を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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