振動に強いシングルショットレーザ干渉計測の検討

抄録

本研究では機上計測をレーザ干渉計で行うことを最終目的にしている．既開発の広視野レーザ干渉計によるワンショット干渉法では，参照板と試験片は治具に固定することができるので，振動下でも干渉計測が可能と考えられる．そこで，工作機械テーブルと同程度の振動下でのSiウエハ表面の形状計測に及ぼす振動の影響を実験的に調べた．無振動下の市販計測装置の測定値と比較した結果20nm程度以内で両者は一致した．