PDMSとステンレスの接着によるマイクロ液滴生成デバイス

抄録

本講演では、シリコーン樹脂であるPDMSとステンレス部品の接合により作製した、液滴生成用マイクロ流路デバイスについて報告する。ソフトリソグラフィによりPDMS片にマイクロ流路を形成する一方で、ステンレス部品は切削加工およびワイヤ放電加工を用いて作製した。両者をエキシマ光処理により互いに張り合わせた装置に、純水とオレイン酸を送液することで、油中水型エマルションの生成を確認した。