被削材の材質がダイヤモンド電着ワイヤ工具の摩耗におよぼす影響

抄録

近年、硬脆材料の精密スライシングにダイヤモンド電着ワイヤ工具が多用されてきている。特に高硬度材のスライシングでは主流となりつつある。本報では、被削材の材質がワイヤ工具の工具摩耗におよぼす影響について検討した。被削材には硬脆材料である硼硅酸ガラス（Pyrex）に加え、アルミニウム合金（A5052）、純銅（C1100）も用いた。実験の結果、被削材の材質により摩耗特性が変化することが確認された。