主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2020年度精密工学会春季大会
開催地: 東京農工大学
開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19
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我々はこれまでに、プラズマ酸化を援用した手法により、ピット密度が低いグラフェン/SiC構造の形成に成功した。ラマン分光測定におけるD/Gピーク比より、得られたグラフェンが低欠陥であることを示唆する結果も得た。一方、応用上重要な電気的性質(移動度)については不明確である。今回は、ラマンスペクトルの2Dピークを解析することにより、間接的ではあるが、形成したグラフェンの移動度を評価する試みを報告する。