精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
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プラズマ酸化を援用した低欠陥グラフェン/SiC構造の形成
ラマンスペクトルに基づくグラフェン移動度の考察
*越智 諒南 映希細尾 幸平佐野 泰久川合 健太郎山村 和也有馬 健太
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会議録・要旨集 認証あり

p. 13

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抄録

我々はこれまでに、プラズマ酸化を援用した手法により、ピット密度が低いグラフェン/SiC構造の形成に成功した。ラマン分光測定におけるD/Gピーク比より、得られたグラフェンが低欠陥であることを示唆する結果も得た。一方、応用上重要な電気的性質(移動度)については不明確である。今回は、ラマンスペクトルの2Dピークを解析することにより、間接的ではあるが、形成したグラフェンの移動度を評価する試みを報告する。

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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