直接位相検出法の正弦波周波数変調法を適応した測長干渉計への応用

抄録

トレーサビリティを確保できるため、周波数の安定なレーザーを光源とした光干渉計は変位測定に有効である。光源周波数を正弦波状に変調する正弦波周波数変調と位相補間法を適応することでnm以下の分解能が達成される。本研究では、位相補間法に直接位相検出法を用いることでより高い分解能を目指す。数値計算ベースのシミュレーションによりその実現可能性を確認したため、本報ではリアルタイムでの変位測定について議論する。