階層型微細機能構造創製に関する研究（第2報）

インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御

抄録

ナノ・マイクロスケールの階層的な構造が有する，機械的・光学的機能が注目を集めている．本研究では，そういったスケール横断的な構造がもつ特有の形状・光学応答に着目し，新規機能性素子の創成を目指す．本法では，ナノ・マイクロ二重周期構造の造形を目的とし，干渉リソグラフィーのインプロセス干渉縞計測による，露光条件の制御を実験的に検討した．