法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定装置のロータリーエンコーダのオンマシン校正

抄録

近年、形状自由度の高い光学素子が様々な分野で応用されており、これらの光学素子を高精度に作製するにあたりナノ精度の三次元形状測定法が必要とされている。そこで、我々はレーザーの直進性を利用した法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定装置の開発を行っている。本報では、装置の測定不確かさ向上のためにオンマシンでロータリーエンコーダの校正を行った結果について報告する。