磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第3報）

2軸駆動装置におけるジグザグ送り

抄録

永久磁石と電磁石を対にして磁気吸引力で駆動する微動テーブルを提案している．前報では2軸駆動の装置を開発し，X，Y各軸で長ストローク，高分解能微動連係での性能を発表した．今回，X，Y軸を交互に微動させるジグザグ送りでの位置決め試験を行った．微動に関わる永久磁石と電磁石間のみに吸引力を作用させる場合とすべてに吸引力を作用させる場合において微動ストロークや軸間干渉を比較評価したので報告する．