逐次精密切削観察システムを利用した鋼の微小硬さ分布測定（第3報）

抄録

我々は，これまでに精密切削を利用した逐次断面切削観察システムの開発を行ってきた．前報では，試料の微小硬さ分布および弾性率分布の計測を目的とし，超精密加工機上でバーコビッチ圧子および圧電ステージ，微小力センサを用いた微小押込み試験システムを作製した．本報では，データの測定精度向上を目指し，圧電ステージの駆動方法を変更させた．実際に鋼材の微小硬さの測定を行い，その有効性を評価した．