マイクロ流路でのエマルション生成を目的としたボルト締め振動子構造の検討

抄録

金属製マイクロ流路基板への超音波照射によりサブマイクロメートルレベルの直径を持つ液滴を含むエマルションを生成するデバイスにおいて、超音波照射に用いる圧電トランスデューサの構造の検討を行った。円板型の圧電素子を外周部からボルト締めを行うことにより、超音波照射条件が均一になるように有限要素法を用いた検討を行った。設計に基づき試作したトランスデューサにおいて、振動による圧力分布を改善することに成功した。