超音波振動子と対向子を用いたポンプの液体への適用

抄録

超音波振動面鉛直下方に、テーパ角が付与された対向子を近接させることによりポンプ効果が発現することが報告されている。これを超音波ポンプと呼ぶ。先行研究では作動流体は気体であり、液体でのポンプ効果の発現は確認されていなかった。そこで本研究では作動流体を液体に変え、ポンプ効果が発現することを実験的に確認し、対向子表面形状を変化させることでポンプ性能の向上を図った。