圧電振動を利用した流量制御弁における効率的な駆動を目指した振動子の開発

抄録

本研究では，小型・軽量で連続的な制御が可能となる空気圧制御弁の開発を行っている．この制御弁は流路内の微粒子が空気圧によってオリフィスに押し付けられて閉じた状態となっており，微粒子に圧電振動による外力を加えることで開いた状態となる．本報では，効率的な駆動条件の実現を目指し，新たな振動子の開発を行い，実験によりその有効性を評価した．