ポリイミドフィルムとアルミニウム薄膜電極から構成されるアクチュエータへの供給電力に着目した湾曲量の評価

抄録

ポリイミドフィルム上にアルミニウム薄膜電極を形成したところ，通電加熱による湾曲を確認した．当初は熱膨張係数の違いに起因したバイメタル効果による湾曲を想定していたが，通電加熱と雰囲気加熱で異なる挙動を示すことから，通電時の湾曲には電気的現象が関係していると考えられる．本研究では電極への供給電力を変化させ，試料の湾曲量を評価した．