中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第8報）

PCVM加工における試料表面温度の変化を考慮したマンドレルの形状修正

抄録

我々は数値制御プラズマCVMによる中性子顕微鏡用Wolterミラーマンドレルの作製に取り組んでいる．プラズマCVMは化学的な加工法であるため，材料除去率は表面温度に依存する．マンドレルは先細り形状の合成石英棒であるため，プラズマ照射時の温度上昇は先端ほど大きく，材料除去率の上昇分を照射時間で補正する必要がある．本報ではプラズマ照射時間の補正後に，マンドレルを形状修正した結果を報告する．