微細毛構造を有する双極型静電チャックの性能向上のための加工法検討

抄録

本研究では，ステンレス鋼をワイヤ放電加工することにより，微細化を実現し，エッチング加工に比べて加工工程が簡易となる微細毛構造を有する双極型静電チャックの開発を行った．はじめに，ステンレス鋼をワイヤ放電加工し，加工した2片の間に絶縁シートを挟むことで静電チャックデバイスを製作し，吸着力を測定した．次に，吸着力と表面形状についてエッチング加工で製作したデバイスと比較を行い，本手法の有効性を示した．