複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法の開発

抄録

微細毛静電チャックは表面に凹凸のある対象の把持を目標とするが、3Dプリンターによる既存の製造手法では精度の高いデバイスの大量生産が困難であった。本研究ではウォータージェット加工機を用いて複合材を切断加工することでデバイスを作成し、凝着力を測定した。３Dプリンターによるデバイスに比べ凝着力は向上し、デバイス積層による大面積化においても十分な性能を確認し新たな製造手法としての有用性を示した。