極細ワイヤを用いたすぐ歯かさ歯車の研究（第3報）

抄録

マイクロマシン（MEMS）用のマイクロかさ歯車として，歯となる細いワイヤと，歯溝となる細いワイヤを円錐の錐面に密着させて配置し，ワイヤを錐面に固定した後，歯溝となるワイヤを取り除くことで，歯となるワイヤがすぐ歯かさ歯車の歯となる「極細ワイヤを用いたマイクロすぐ歯かさ歯車」を考案した．本報では，ワイヤの配置と歯車の構造，および，歯車の噛み合い理論と試作したマイクロ歯車の噛み合い実験について報告する．