定在波照明を用いた表面微細加工構造の長作動距離超解像欠陥検査

抄録

表面微細加工構造の欠陥検査技術として、光学的手法は大きなポテンシャルを持つ一方、回折のため分解能は対物レンズのNAにより制限される。このため解像力の向上には高NA対物レンズを用いざるを得ず、結果的に作動距離が短くなることが現場適用上の障害となっている。本報では定在波照明と参照光を利用して作動距離を長く保ちつつ回折限界を越える手法を提案し、さらに数値解析により提案手法の妥当性と特性を検討する。