フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究

マルチビーム角度センサの設計

抄録

近年，モード同期フェムト秒レーザを光源として用いた光学式角度センサが提案されており，レーザ内に含まれる複数モード利用による測定レンジの拡大等が実現されている．本報では，このモード同期フェムト秒レーザを光源として用いた光学式角度センサについて，各モードをマルチビームとして用いる光学系を設計・試作し，その基礎特性を評価した結果について報告する．