左右ボールネジカウンタバランス制振機構を搭載した高速穴あけ工作機械のテーブル振動特性

抄録

近年の電子機器の多機能化に伴い，その主要部品であるプリント基板の小型化，回路の高密度化が求められている．そのため，極小径マイクロドリルによるステップ加工がなされているが，ステップ加工では微小区間での高速往復運動が必要となり，スピンドル部の慣性力により振動が生じる．本報では，左右ボールネジ送り駆動によるカウンタバランス制振機構を搭載した工作機械を提案し，そのテーブル動作と振動の関係について述べる．